엔지니어 꿈꾸는 테리어몬

오늘은 SPTA 패터닝 실습 1일차이다. 오늘 오전에는 Photolithography에 대한 이론적인 지식 및 반도체 공부를 대하는 태도와 자세에 대해 배울 수 있었다. 강사님이 계속해서 한 가지에 포커스를 맞추셨기에 그 관점과 가치관을 이해하는데 어려움이 없었다. 이는 뒤에 소개하도록 하겠다. Photolithography What / 포토공정이 뭐야? : 포토공정(Photolithography)란 PR과 light source를 이용하여 설계자가 의도하여 마스크 위에 그린 회로를 Wafer상에 그대로 옮기는 공정을 뜻한다. Why? - 포토공정 왜하는데? : Etch 마스크와 ion-implantation 마스크 제작을 하기 위해 진행된다. 이 과정이 있어야 후속 공정들이 진행 될 수 있다. How?..

포토공정이란? 설계자가 설계한 회로 내용 정보를 담고 있는 마스크의 패턴을 wafer 상에 도포된 PR위로 전사시켜 원하는 패턴을 새기는 공정 과정. 포토 공정에 대해 알아보자. Full name으로는 Photolithography이지만 줄여서 포토 공정이라고 부르겠다. 앞서 설명한 바와 같이 포토 공정이란, 쉽게 얘기하면 원하는 특정 패턴의 회로를 wafer상에 새기는 작업을 의미한다. 이렇게 이야기 하면 매우 간단한 공정 단계 같지만, 포토 공정 내에서도 매우 여러 세세한 공정과정들이 존재한다. 오늘은 포토 공정에 대해 자세히 다루어 보겠다. - 포토공정의 세부 단계 : 포토 공정은 크게 9가지 단계를 거쳐 완성된다. 앞서 간단하게 설명했던 과정이 9단계를 모두 거쳐야 비로소 완성이 되는 것이다. 위..